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J-GLOBAL ID：200903053745043374

有機材料の表面改質処理方法

Inventor： 土居 陽
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 谷川 昌夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995169933
Publication number (International publication number)：1997012750
Application date： Jul. 05, 1995
Publication date： Jan. 14, 1997
Summary：

【要約】【目的】処理用ガスをプラズマ化し、このプラズマのもとで有機材料表面に所定の改質処理を施す方法であって、この表面改質処理を従来より効率良く行うことができる有機材料の表面改質処理方法を提供することを課題とする。【構成】処理用ガスのプラズマ化を、パルス変調を施した状態の高周波電力を印加することで行う有機材料の表面改質処理方法。

Claim (excerpt)：

処理用ガスをプラズマ化し、該プラズマのもとで有機材料表面に所定の表面改質処理を施す方法であって、前記処理用ガスのプラズマ化を、パルス変調を施した状態の高周波電力を印加することで行うことを特徴とする有機材料の表面改質処理方法。

IPC (2)：

C08J 7/00 306 ,  C23C 14/02

FI (2)：

C08J 7/00 306 ,  C23C 14/02 A