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J-GLOBAL ID：200903053745971387

基板表面の検査方法

Inventor： 尾方 孝治 ,  上山 尚之 ,  宮脇 克士
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 深見 久郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000120426
Publication number (International publication number)：2001304834
Application date： Apr. 21, 2000
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 液晶基板などの表面のうねりを検査するにあたって、精度が高く、より再現性のある基板表面の検査方法を提供する。【解決手段】 対象となる液晶基板7の主表面に、遮光板2を通過させるなどして、平行に配列された直線を含むパターンからなる光を照射し、反射光から得られる像4の歪みから、主表面のうねりを検出する。好ましくは、液晶基板7を主表面に略平行な方向にスライドさせることによって生じる、像4の揺れから主表面のうねりを検出する。

Claim (excerpt)：

対象となる基板の主表面に、平行に配列された複数の直線を含むパターンからなる光を照射し、反射光から得られる像の歪みから、前記主表面のうねりを検出する、基板表面の検査方法。

IPC (5)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/25 ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/1333 500 ,  G06T 1/00 300

FI (5)：

G01B 11/30 A ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/1333 500 ,  G06T 1/00 300 ,  G01B 11/24 E

F-Term (27)：

2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF42 ,  2F065GG18 ,  2F065HH05 ,  2F065LL28 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065UU01 ,  2F065UU06 ,  2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051AB10 ,  2G051BB20 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2H090JA02 ,  2H090JC18 ,  2H090LA05 ,  5B057AA03 ,  5B057BA15 ,  5B057DA03 ,  5B057DA04 ,  5B057DB02 ,  5B057DC09