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J-GLOBAL ID：200903053759307692
固体撮像素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
船橋 國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995290716
Publication number (International publication number)：1997135016
Application date： Nov. 09, 1995
Publication date： May. 20, 1997
Summary：
【要約】【課題】 転送電極の周縁における遮光膜のAlのカバレージを改善し、遮光膜の遮光性の向上を図る。【解決手段】 有効画素領域と光学的黒領域とに分離されるセンサ部を備えてなり、センサ部が、Si基板11の縦横に、縦横それぞれに所定間隔をあけて島状に配設された多数の光電変換部12と、Si基板11上に、光電変換部12を外方に臨ませるよう開口した状態に形成された転送電極4と、転送電極4を覆ってSi基板11上に形成され、有効画素領域における光電変換部12以外への光の入射を遮断する遮光膜とを有して構成される固体撮像素子において、転送電極4の開口部5の周縁を、外方に湾曲する曲線からなる曲線部または鈍角をなす2辺からなる直線部によって形成する。
Claim (excerpt)：
有効画素領域と光学的黒領域とに分離されるセンサ部を備えてなり、前記センサ部が、基体の縦横に、縦横それぞれに所定間隔をあけて島状に配設された多数の光電変換部と、前記基体上に、前記光電変換部を外方に臨ませるよう開口した状態に形成された転送電極と、前記転送電極を覆って前記基体上に形成され、前記有効画素領域における光電変換部以外への光の入射を遮断する遮光膜とを有して構成される固体撮像素子において、前記転送電極の開口部の周縁が、外方に湾曲する曲線からなる曲線部または鈍角をなす2辺からなる直線部によって形成されてなることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 27/14 B
, H04N 5/335 F
