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J-GLOBAL ID:200903053771696424
走査型顕微鏡用探針および走査型顕微鏡
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
奈良 武
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995026615
Publication number (International publication number):1996219744
Application date: Feb. 15, 1995
Publication date: Aug. 30, 1996
Summary:
【要約】【目的】光走査型トンネル顕微鏡にも、走査型トンネル顕微鏡にも、装着して使用できる走査型顕微鏡用探針を提供する。【構成】試料に対し相対的に走査可能な走査型顕微鏡用探針10において、探針本体9は、透明導電性材料のコア1と光学材料のクラッド2とからなる光ファイバーにより形成される。
Claim (excerpt):
試料に対し相対的に走査可能な走査型顕微鏡用探針において、探針本体は、透明導電性材料のコアと光学材料のクラッドとからなる光ファイバーにより形成されたことを特徴とする走査型顕微鏡用探針。
IPC (4):
G01B 11/30 102
, G01N 37/00
, G02B 21/00
, H01J 37/28
FI (5):
G01B 11/30 102 Z
, G01N 37/00 E
, G01N 37/00 D
, G02B 21/00
, H01J 37/28 Z
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