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J-GLOBAL ID：200903053777901364
ダイヤモンド保護膜を有する電熱器およびその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
沼形 義彰 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995302547
Publication number (International publication number)：1997145442
Application date： Nov. 21, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：
【要約】【課題】 半導体基板上に形成された電熱器において、熱伝導を迅速に行わせる。【解決手段】 半導体基板10上に酸化シリコン膜11と、ダイヤモンド膜13と発熱体15とを設けて電熱器を構成し、この電熱器の上をダイヤモンド保護膜16で覆った。さらに、電熱器の下面に断熱空間18を設けるとともに、電熱器の下方に位置する酸化シリコン層11を除去した。
Claim (excerpt)：
半導体基板上に形成した電熱器において、発熱体をダイヤモンド保護膜で覆ったことを特徴とするダイヤモンド保護膜を有する電熱器。
IPC (2)：
FI (2)：
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