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J-GLOBAL ID：200903053813896844

インピーダンス制御方法および装置ならびにそれを用いたマイクロ波処理装置

Inventor： 神崎 直人
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995218423
Publication number (International publication number)：1997064611
Application date： Aug. 28, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：

【要約】【目的】 制御アルゴリズムを複雑にすることなく、広範囲で安定したインピーダンス整合を実現する。【構成】 マグネトロン2から発生するマイクロ波を、アイソレータ3、方向性結合器4、インピーダンス制御装置1を介して真空処理室5に導入するマイクロ波処理装置において、インピーダンス制御装置1を、外筒導波管1a、外筒導波管1aに対して軸方向に変位自在に嵌合する内筒導波管1b、内筒導波管1bに固定される駆動アーム1d、駆動アーム1dが螺合する送りネジ1e、送りネジ1eを任意の方向に任意に回転量で駆動するモータ1fを含む構成とし、内筒導波管1bの軸方向の変位によって、マグネトロン2から真空処理室5に至るマイクロ波の伝播経路の長さを調整してインピーダンス整合(制御)を実現する。

Claim (excerpt)：

少なくとも二つの第1および第2の導波管の少なくとも一部が重なり合うように軸方向に変位自在に結合し、前記第1および第2の導波管を軸方向に相対的に変位させることによって前記第1および第2の導波管を含むマイクロ波伝達系のインピーダンスを制御することを特徴とするインピーダンス制御方法。

IPC (4)：

H01P 5/04 ,  H01P 5/04 601 ,  H01P 1/06 ,  H05H 1/46

FI (4)：

H01P 5/04 C ,  H01P 5/04 601 Z ,  H01P 1/06 ,  H05H 1/46 B