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J-GLOBAL ID：200903053823296071

微細パタン投影露光装置

Inventor： 原田 勝征 ,  松尾 誠太郎 ,  竹内 良亘 ,  為近 恵美 ,  小松 一彦 ,  三村 義昭
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991225335
Publication number (International publication number)：1993047630
Application date： Aug. 12, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 プリズムやグレーティングを用いる斜入射照明方式において、光軸に垂直な平面で光軸と光源を結ぶ方向を取る場合これらの解像性を任意に制御可能にする。【構成】 光軸に垂直な面内で見たとき、光軸外からの1方向もしくは光軸に対して軸対称な光軸外からの2方向から斜入射照明する手段と、これら1方向もしくは2方向と光軸を結ぶ直線とは直角な光軸を通る直線上周辺に開口19を持つ特殊絞り18を備える。これによって、光軸外からの1方向もしくは2方向からの斜入射照明と特殊絞り18とを組み合わ、両者の斜入射照明条件を選ぶことにより直交するL&Sパタンの解像性を任意に制御することができる。

Claim (excerpt)：

パタンの描かれた物面マスクを照射する光線が光軸が対して投影レンズの開口数に対応した角度の傾きを与える手段を有する投影露光装置において、光軸に垂直な面内で見たとき、光軸外からの1方向もしくは光軸に対して軸対称な光軸外からの2方向から斜入射照明する手段と、これら1方向もしくは2方向と光軸を結ぶ直線とは直角な光軸を通る直線上周辺に開口を持つ特殊絞りを具備することを特徴とする微細パタン投影露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-027516
  
• 特開平4-267515
  
• 特開平4-180612