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J-GLOBAL ID:200903053847056675

露光装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000023783
Publication number (International publication number):2001217175
Application date: Feb. 01, 2000
Publication date: Aug. 10, 2001
Summary:
【要約】【課題】 走査方向の照度ムラを低減するとともに、第一の走査による露光と、第二の走査による露光との接続部分の照度ムラを低減する。【解決手段】 パルス発光するパルス光源1と、原版であるレチクル3に転写用パターンとして形成された原版のパターンを該パルス光源1により感光体であるウエハ5上に転写する照明光学手段と、レチクル3、及びウエハ5を所定の方向に同期走査する手段とを有し、走査方向の照度分布、及び走査方向に対し垂直方向の照度分布をともに台形状とする照明手段を具備し、レチクル3及びウエハ5の同期走査による露光、及びウエハ5の露光領域の走査方向に対し垂直方向への移動を繰り返すことにより、前記原版のパターンをウエハ5上に転写する。
Claim (excerpt):
パルス発光するパルス光源と、転写用パターンとして原版に形成された原版のパターンを該パルス光源により感光体上に転写する照明光学手段と、該原版、及び該感光体を所定の方向に同期走査する手段とを有する露光装置において、走査方向の照度分布、及び走査方向に対し垂直方向の照度分布をともに台形状とする照明手段を具備し、前記原版及び前記感光体の同期走査による露光、及び前記感光体の露光領域の走査方向に対し垂直方向への移動を繰り返すことにより、前記原版のパターンを前記感光体上に転写することを特徴とする露光装置。
IPC (2):
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (3):
G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 514 A
F-Term (13):
5F046AA11 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB05 ,  5F046CB08 ,  5F046CB23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DA06 ,  5F046DA07

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