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J-GLOBAL ID：200903053850118444

均熱セラミックスヒーター

Inventor： 久保田 芳宏 ,  茂木 弘
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994071787
Publication number (International publication number)：1995280462
Application date： Apr. 11, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明は半導体や液晶プロセスなどに使用したときに、半導体ウエハーや液晶用ガラス板の温度分布を均一とし、これらを品質のバラツキのないものとすることができる均熱セラミックスヒーターの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の均熱セラミックスヒーターは、電気伝導部と絶縁層の少なくとも2層からなる積層セラミックスヒーターにおいて、この絶縁層面に熱線の乱反射が起こるのに充分な凹凸部を設けてなることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

電気伝導部と絶縁層の少なくとも2層からなる積層セラミックスヒーターにおいて、この絶縁層面に熱線の乱反射が起こるのに充分な凹凸部を設けてなることを特徴とする均熱セラミックスヒーター。

IPC (6)：

F27D 11/02 ,  C23C 14/50 ,  C23C 16/46 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H05B 3/14