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J-GLOBAL ID：200903053884970301
トンネル顕微鏡及び原子間力顕微鏡両用探針
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991336681
Publication number (International publication number)：1993164514
Application date： Dec. 19, 1991
Publication date： Jun. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】 トンネル顕微鏡及び原子間力顕微鏡の何れにも用いられ、かつ高分解能を可能とする。【構成】 従来のトンネル顕微鏡用の探針を支持部21とし、その先端をトンネル電流検出用プローブ22とし、このプローブ22を除き支持部21の外周にSiO2 の絶縁層23が形成され、その上にAuの導電層24が形成されている。端部の導電層24に真空中で電子ビームを照射し、有機ガスを分解したカーボンを堆積させ、電子ビームの照射位置を徐々にずらしてカーボン堆積を成長させ、一端が導電層24に固定され、他端部がプローブ22の先端と近接対向したレバー本体25を形成し、そのレバー本体25の端部のプローブ22と反対側に同様にカーボンの堆積によりプローブ本体26を形成する。
Claim (excerpt)：
支持部と、その支持部に設けられたトンネル電流検出用プローブと、そのトンネル電流検出用プローブと絶縁されて一端が上記支持部に取付けられ、他端部の一面が上記トンネル検出用プローブの先端と近接対向し、堆積導電物よりなるレバー本体と、そのレバー本体の上記他端部の上記一面と反対の面に取付けられ、上記堆積導電物と同一材の堆積導電物よりなるプローブ本体と、を具備するトンネル顕微鏡及び原子間力顕微鏡両用探針。
IPC (3)：
G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
