かご型シルセスキオキサン構造を含む重合体とそれを含むネガ型レジスト材料

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (6)：川口嘉之 , 松倉秀実 , 和久田純一 , 遠山勉 , 佐貫伸一 , 丹羽武司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008060175
Publication number (International publication number)：2009215423
Application date： Mar. 10, 2008
Publication date： Sep. 24, 2009
Summary：

【課題】新規なネガレジスト材料を提供する。【解決手段】式(I)で示される重合体。式(I)中、Rは、C1〜40のアルキル基、(置換)アリール基、又は(置換)アリールアルキル基であり、R2は単結合、C1〜40のアルキレン基、又は(置換)アリーレン基であり、R3はC1〜8のアルキル基、又は少なくとも一つの水素が-OR4もしくは水酸基で置換されたフェニル基であり、nは2以上の整数である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

式(I)で示される重合体。

IPC (3)：

C08G 77/52 , G03F 7/038 , H01L 21/027

FI (3)：

C08G77/52 , G03F7/038 601 , H01L21/30 502R

F-Term (32)：

2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC77 , 2H025BE00 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 4J246AA11 , 4J246AB01 , 4J246AB07 , 4J246BA14X , 4J246BA140 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246BB021 , 4J246BB25X , 4J246BB250 , 4J246BB253 , 4J246BB26X , 4J246BB260 , 4J246BB262 , 4J246CA24X , 4J246CA240 , 4J246CA53M , 4J246CA53X , 4J246CA530 , 4J246CA56U , 4J246CA56X , 4J246CA560 , 4J246FA221 , 4J246HA15 , 4J246HA63

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

ネガ型レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-032380 Applicant：信越化学工業株式会社
新規なポリマーを含有する放射線感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-190922 Applicant：シップレーカンパニーエルエルシー
ネガ型レジスト材料及びパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-013585 Applicant：信越化学工業株式会社

Show all

Cited by examiner (4)

シルセスキオキサン誘導体を反応させて得られる重合体およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-125167 Applicant：チッソ株式会社
ネガ型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-080481 Applicant：東京応化工業株式会社
感光性樹脂組成物及びシルセスキオキサン重合体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-123170 Applicant：旭化成株式会社

Show all

Return to Previous Page