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J-GLOBAL ID:200903053992084415
プラズマディスプレイパネルの製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995051889
Publication number (International publication number):1996222135
Application date: Feb. 16, 1995
Publication date: Aug. 30, 1996
Summary:
【要約】【目的】 リブ形成工程を簡略化し、精度の高いリブを形成することができるプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。【構成】未硬化状態の厚さが100〜300μmであるドライガラスペーストフィルムをリブ材として用いることにより、一回のサンドブラスト処理により、リブを形成する。
Claim (excerpt):
ガラス基板上に未硬化状態の厚さ100〜300μmであるドライガラスペーストフィルムとドライフォトレジストフィルムとを積層する工程と、リブパターン用マスクを介して前記ドライフォトレジストフィルムを露光・現像する工程と、露光・現像されたドライフォトレジストフィルムをマスクとしてドライガラスペーストフィルムをサンドブラスト処理し、放電空間形成用の凹部を形成する工程と、前記ドライフォトレジストフィルムを除去すると共にドライガラスペーストフィルムを焼成する工程とを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
IPC (2):
FI (2):
H01J 11/02 B
, H01J 9/02 F
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