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J-GLOBAL ID：200903054006536580

ラビング検査装置

Inventor： 利光 邦夫 ,  竹内 淳
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993092994
Publication number (International publication number)：1994059230
Application date： Apr. 20, 1993
Publication date： Mar. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】液晶表示パネルの製造工程中のラビング工程の検査を、同製造工程中に行うことのできるラビング検査装置を提供すること。【構成】偏光光学系7の2枚の偏光板7a,7bの偏光方向P,Aに対し、基板1上の配向膜をラビングした時のラビング方向1bをほぼ45度傾くように、基板1を保持する。さらに好ましくは、ステージの水平面内の移動方向(YまたはX)と前記ラビング方向1bとが平行になるようにステージの移動方向に合わせて基板1を保持する。

Claim (excerpt)：

基板を保持するステージと、前記基板の表面に塗布された配向膜の表面を偏光観察するために偏光方向が直交するように配置される2個の偏光素子を有する偏光光学系と、を具備し、所定方向に沿ってラビングされた前記配向膜の表面を検査することによってラビング検査を行うラビング検査装置であって、前記ステージは、前記ラビングの所定方向が前記偏光素子の各偏光方向に対してほぼ45度傾斜するように、基板を保持することを特徴とするラビング検査装置。

IPC (3)：

G02F 1/13 101 ,  G01N 21/21 ,  G02F 1/1337 500