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J-GLOBAL ID：200903054052025638

赤外線吸収膜と赤外線検知センサ

Inventor： 細川 秀記 ,  藤塚 徳夫 ,  船橋 博文
Applicant, Patent owner： 株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 特許業務法人快友国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005244299
Publication number (International publication number)：2007057427
Application date： Aug. 25, 2005
Publication date： Mar. 08, 2007
Summary：

【課題】 吸収能力の高い赤外線吸収膜を提供すること。【解決手段】 本発明の赤外線吸収膜20は、赤外線の入射側に配置されるNSG膜24と、NSG膜24の裏面24bに積層されているTiN膜28を備える。NSG膜24は、赤外線に対する吸収係数が5.78×103(cm-1)である。TiN膜28は、赤外線に対する吸収係数が8×104(cm-1)である。吸収係数が3.5×102〜2.2×105(cm-1)の範囲に含まれる上膜(NSG膜24)と、吸収係数が1.0×103〜2.2×105(cm-1)の範囲に含まれる下膜(TiN膜28)を組合せて赤外線吸収膜20を構成すると、吸収能力が非常に高い膜が得られる。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

赤外線を吸収する膜であり、 赤外線の入射側に配置されている第1膜と、第1膜の射出側に積層されている第2膜を備えており、 赤外線の吸収係数が、第1膜では3.5×102〜2.2×105cm-1であり、第2膜では1.0×103〜2.2×105cm-1であり、第1膜のそれが第2膜のそれよりも小さいことを特徴とする赤外線吸収膜。

IPC (2)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/12

FI (2)：

G01J1/02 C ,  G01J5/12

F-Term (10)：

2G065AB02 ,  2G065BA02 ,  2G065BA14 ,  2G065DA20 ,  2G066AC13 ,  2G066CA08 ,  2H048CA05 ,  2H048CA12 ,  2H048CA17 ,  2H048CA24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 赤外線吸収体及びこれを用いた熱型赤外線検出装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-218165   Applicant：株式会社ニコン
• 赤外線固体撮像素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-012269   Applicant：三菱電機株式会社