金属酸化膜形成用塗布膜剥離液、剥離方法および基板の回収方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：服部平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996148023
Publication number (International publication number)：1997304947
Application date： May. 17, 1996
Publication date： Nov. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】金属酸化膜形成用塗布膜の剥離が容易で、しかも該塗布膜の析出物の発生がなく、剥離液寿命を長く維持できる剥離液、剥離方法および剥離基板の回収方法を提供すること。【解決手段】有機アルカリ化合物を含有する溶液からなる金属酸化膜形成用塗膜剥離液、該剥離液で基板上に形成された金属酸化膜形成用塗膜を剥離する剥離方法および剥離して得られた基板を再使用する基板の回収方法。

Claim (excerpt)：

有機アルカリ化合物を含有することを特徴とする金属酸化膜形成用塗布膜剥離液。

IPC (3)：

G03F 7/42 , C11D 7/32 , H01L 21/308

FI (3)：

G03F 7/42 , C11D 7/32 , H01L 21/308 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

金属酸化物薄膜のパターン形成法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-281627 Applicant：ローム株式会社
特開平2-010353
特開平2-090170

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