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J-GLOBAL ID：200903054055492997

移動ステージ装置

Inventor： 千葉 伸一 ,  堆 浩太郎
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992338802
Publication number (International publication number)：1994183561
Application date： Dec. 18, 1992
Publication date： Jul. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高精度且つ高速の移動ステージ装置を提供すること。【構成】 第1の静圧流体軸受(3)で支持され、リニアアクチュエータ(2)によって移動し得る移動体(1)を備える移動ステージ装置において、第2の静圧流体軸受(7)と駆動素子(8)が一体化された姿勢補償機構を設け、駆動素子(8)の変位によってガイド(5)の案内面に対して移動体(1)が垂直方向に変位し得る構造とする。ここでコントローラ(11)は移動時に生ずる移動体(1)の姿勢変化が0に近付くように、駆動素子(8)に印加する電圧を制御する。

Claim (excerpt)：

駆動機構によって駆動され得る移動体と、前記移動体を支持する第1の流体軸受けと、前記移動体に接続され支持方向に変位する駆動素子と、前記駆動素子を介して前記移動体を支持する第2の流体軸受けと、前記移動体の姿勢を補償するように前記駆動素子に電圧を印加するコントローラと、を有することを特徴する移動ステージ装置。

IPC (6)：

B65G 54/02 ,  B23Q 1/18 ,  B60L 13/04 ,  B65G 53/66 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (2)：

H01L 21/30 301 Z ,  H01L 21/30 311 L