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J-GLOBAL ID：200903054086851235

フルオロカーボンの分解処理剤及び分解処理方法

Inventor： 大塚 健二 ,  名和 洋二 ,  池田 友久 ,  越智 幸史
Applicant, Patent owner： 日本パイオニクス株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001151875
Publication number (International publication number)：2002224565
Application date： May. 22, 2001
Publication date： Aug. 13, 2002
Summary：

【要約】【課題】 半導体製造工程等から排出される排ガスに含まれるCF4等のフルオロカーボンを、短時間で分解処理剤が失活することなく、またフッ化水素等の腐食性ガスを排出させることなく、1000°C以下の比較的低い温度で99.9%以上の分解率で分解可能な分解処理剤及び分解処理方法を提供する。【解決手段】 酸化アルミニウムと、アルカリ土類金属の酸化物または加熱分解されてアルカリ土類金属の酸化物となるアルカリ土類金属化合物を、有効成分として含む分解処理剤とする。また、加熱下で、酸化アルミニウム及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む分解処理剤と接触させてフルオロカーボンを分解する。あるいは、加熱下で、酸化アルミニウムを有効成分として含む処理剤及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含む処理剤と交互に接触させてフルオロカーボンを分解する。

Claim (excerpt)：

酸化アルミニウム及びアルカリ土類金属の酸化物を有効成分として含むことを特徴とするフルオロカーボンの分解処理剤。

IPC (5)：

B01J 23/02 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/68 ,  B01D 53/86 ,  C09K 3/00

FI (5)：

B01J 23/02 A ,  C09K 3/00 S ,  B01D 53/34 134 C ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/36 G

F-Term (56)：

4D002AA22 ,  4D002AC10 ,  4D002BA03 ,  4D002BA12 ,  4D002CA07 ,  4D002CA08 ,  4D002CA09 ,  4D002DA04 ,  4D002DA05 ,  4D002DA06 ,  4D002DA08 ,  4D002DA11 ,  4D002DA12 ,  4D002DA14 ,  4D002DA16 ,  4D002DA35 ,  4D002GA01 ,  4D002GB08 ,  4D002GB11 ,  4D002GB12 ,  4D048AA11 ,  4D048AB03 ,  4D048BA01X ,  4D048BA02X ,  4D048BA03X ,  4D048BA15X ,  4D048BA41X ,  4D048BB01 ,  4D048CC32 ,  4G069AA02 ,  4G069AA03 ,  4G069AA08 ,  4G069BA01A ,  4G069BA01B ,  4G069BA06A ,  4G069BA06B ,  4G069BB04A ,  4G069BB04B ,  4G069BB05A ,  4G069BB05B ,  4G069BB16A ,  4G069BB16B ,  4G069BC09A ,  4G069BC09B ,  4G069BC12A ,  4G069BC12B ,  4G069CA02 ,  4G069CA10 ,  4G069CA19 ,  4G069DA05 ,  4G069EA02 ,  4G069EC14X ,  4G069EC14Y ,  4G069EC15X ,  4G069EC15Y ,  4G069FB07