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J-GLOBAL ID:200903054089363711

ブラックマトリックス用感光性樹脂組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 古谷 聡 ,  溝部 孝彦 ,  西山 清春
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004319469
Publication number (International publication number):2005222028
Application date: Nov. 02, 2004
Publication date: Aug. 18, 2005
Summary:
【課題】 露光時の感度、現像後のパターンのエッジ形状、解像度が共に良好で、かつパターンにアンダーカットを生じることがなく、しかも基板から剥れにくいブラックマトリックス用感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】 本発明のブラックマトリックス用感光性樹脂組成物は、(A)下記一般式(a-1)で表される官能基を含む化合物からなるアルカリ可溶性樹脂、(B)エチレン性不飽和結合を有する重合性化合物、(C)下記一般式(c-1)で表される化合物を必須成分とする光重合開始剤、(D)溶剤及び(E)黒色顔料を含む。【化1】(式中、それぞれのRは独立して水素原子、炭素数1〜5の直鎖もしくは分岐アルキル基、フェニル基またはハロゲン原子を示す。)【化2】(式中、Z11はRa、Rb-S、Rc-Oを示し、ただしRa、Rb、Rcは何れも水素原子、アルキル基、又はアリール基を示し、Z2は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、ハロゲン原子を示す。)【選択図】なし
Claim (excerpt):
(A) 下記一般式(a-1)で表される官能基を含む化合物からなるアルカリ可溶性樹脂、
IPC (6):
G03F7/027 ,  C08F2/50 ,  C08F290/14 ,  G02B5/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/028
FI (6):
G03F7/027 515 ,  C08F2/50 ,  C08F290/14 ,  G02B5/20 101 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/028
F-Term (87):
2H025AB13 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC74 ,  2H025BC85 ,  2H025CA01 ,  2H025CB52 ,  2H025CC03 ,  2H025CC12 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BB01 ,  2H048BB24 ,  2H048BB42 ,  4J011QA23 ,  4J011QB14 ,  4J011SA21 ,  4J011SA26 ,  4J011SA29 ,  4J011TA03 ,  4J011TA07 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA10 ,  4J127AA03 ,  4J127BA151 ,  4J127BA152 ,  4J127BB041 ,  4J127BB042 ,  4J127BB081 ,  4J127BB082 ,  4J127BB221 ,  4J127BB222 ,  4J127BB281 ,  4J127BB282 ,  4J127BB301 ,  4J127BB302 ,  4J127BC031 ,  4J127BC032 ,  4J127BC151 ,  4J127BC152 ,  4J127BC162 ,  4J127BD201 ,  4J127BD202 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BE342 ,  4J127BE41Z ,  4J127BE411 ,  4J127BE412 ,  4J127BF30Y ,  4J127BF301 ,  4J127BF45Z ,  4J127BF451 ,  4J127BF452 ,  4J127BG04Y ,  4J127BG041 ,  4J127BG042 ,  4J127BG05Y ,  4J127BG05Z ,  4J127BG051 ,  4J127BG052 ,  4J127BG12X ,  4J127BG121 ,  4J127BG122 ,  4J127BG16Z ,  4J127BG161 ,  4J127BG162 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG17Z ,  4J127BG171 ,  4J127BG172 ,  4J127CB153 ,  4J127CB371 ,  4J127CB372 ,  4J127CC092 ,  4J127CC111 ,  4J127CC112 ,  4J127CC393 ,  4J127EA13 ,  4J127FA17 ,  4J127FA30
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (4)
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