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J-GLOBAL ID:200903054095313130

電界放出デバイスとその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三俣 弘文
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995243940
Publication number (International publication number):1996077917
Application date: Aug. 30, 1995
Publication date: Mar. 22, 1996
Summary:
【要約】【課題】 電界放出デバイスとその製造方法を提供する。【解決手段】 電界放出デバイスは、エミッタ材料を絶縁基板に配置し、エミッタ材料にマスクパーティクルを加え、マスクパーティクル及びエミッタ材料の上に絶縁膜及びゲート導体膜を加え、さらにパーティクルを除去してランダムに分布した開口を通じてエミッタ材料を露出することによって製造される。このようにして優れた且つ経済的な多数のランダム分布の開口を有する電界放出デバイスが得られ、低コストのフラットパネル型ディスプレイに利用できる。
Claim (excerpt):
(A)基板の上に電子エミッタ材料層を加えるステップと、(B)前記エミッタ材料にマスクパーティクルを加えるステップと、(C)前記マスクパーティクル及び前記エミッタ材料に絶縁材料及び導電性材料の連続的な層を加えるステップと、(D)前記マスクパーティクルを除去し、その下に形成された開口からエミッタ材料を露出するステップと、(E)電界放出デバイスを完成するステップとからなることを特徴とする電界放出デバイスの製造方法。
IPC (4):
H01J 9/02 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12 ,  H01J 31/15

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