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J-GLOBAL ID：200903054116758421

電子放出用冷陰極の製造方法

Inventor： 段谷 恭史 ,  来間 泰則
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 志村 浩
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993259044
Publication number (International publication number)：1995094082
Application date： Sep. 22, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 電子放出に適した構造をもつ電子放出用冷陰極を容易に作成する。【構成】 図(a) に示すように、錐状電極9を形成する。この錐状電極9は、最終的に形成すべき冷陰極の粗形状をなすものであり、ほぼ錐形をしているが、先端部分は鋭利ではない。この錐状電極9に対して陽極酸化を行い、図(b) に示すように、表面に酸化膜9aを形成させる。酸化を受けなかった部分が内部電極9bとして残るが、この内部電極9bは、鋭利な先端部をもつ。そこで、酸化膜9aのみを除去し、内部電極9bを残すようにすれば、この内部電極9bを冷陰極として用いることができる。

Claim (excerpt)：

冷陰極と引出電極と陽極とを備え、引出電極によって冷陰極から電子を引き出してこれを陽極へと放出させる装置、に用いられる冷陰極の製造方法において、錐状電極を形成した後、この錐状電極の表面を酸化することにより所定の厚みの酸化膜を形成させ、この酸化膜を除去することにより尖鋭な先端をもった錐状の冷陰極を得ることを特徴とする電子放出用冷陰極の製造方法。

IPC (2)：

H01J 9/02 ,  H01L 21/3065

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-312739
  
• 特開昭51-054358
  
• 特開平4-312739
  
• 特開昭51-054358