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J-GLOBAL ID：200903054132976617

欠陥検査装置

Inventor： 椎森 佳子 ,  岡村 広紀
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 山田 文雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992103543
Publication number (International publication number)：1993280959
Application date： Mar. 30, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 複数の欠陥を含む2値画像を1つの欠陥を含む複数の領域に分割し、各領域ごとにそこに含まれる欠陥の形状や種類等を高精度に判別できるようにする。【構成】 2値画像の周辺分布情報を用いて2値画像を1つの欠陥を含む複数の領域に分割する。ここに2値画像は、別手段により検出した欠陥のアドレスを含む領域を欠陥を示す値に塗り潰すことにより他の領域から分離した画像とするのが望ましい。周辺分布情報は、2値画像を副走査方向あるいは主走査方向に投影したものとし、この周辺分布のうち線状性を有する独立分布領域を線状の欠陥がある領域として分割することができる。この操作をさらに非線状性を有するとして残った領域に対しても行うことにより領域をさらに細かく分割することが可能である。

Claim (excerpt)：

検査対象を走査して得た画像信号を微分フィルタを含む空間フィルタリング処理した微分画像を用いて、検査対象の複数の欠陥を含む2値画像を抽出し、欠陥を検査する欠陥検査装置において、前記2値画像の周辺分布情報を用いて前記2値画像を1つの欠陥を含む複数の領域に分割する欠陥領域分割処理手段を備えることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (5)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/89 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/70 330