透過波長可変干渉フィルタ及びこれを用いた分光器

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：東野博文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997302478
Publication number (International publication number)：1999142752
Application date： Nov. 05, 1997
Publication date： May. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】小型化が可能で入射光のスポット径により分光特性が変化しない透過波長可変干渉フィルタを実現する。【解決手段】透過波長が可変である透過波長可変干渉フィルタにおいて、互いに平行に保持された一対の基板(7,8)と、この一対の基板(7,8)上に互いに対向すると共に一定間隔を有するように形成された一対の多層膜(9,10)とを備え、外力により一対の多層膜(9,10)間の間隔を変化させる。

Claim (excerpt)：

透過波長が可変である透過波長可変干渉フィルタにおいて、互いに平行に保持された一対の基板(7,8)と、この一対の基板(7,8)上に互いに対向すると共に一定間隔を有するように形成された一対の多層膜(9,10)とを備え、外力により前記一対の多層膜(9,10)間の間隔を変化させることを特徴とする透過波長可変干渉フィルタ。

IPC (3)：

G02B 26/00 , G01J 3/12 , G02B 5/28

FI (3)：

G02B 26/00 , G01J 3/12 , G02B 5/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開平1-094312
光共振器とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-035741 Applicant：矢崎総業株式会社
光学的フィルタリング方法および光学フィルター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-314119 Applicant：ソニー株式会社

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