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J-GLOBAL ID：200903054146484059

多層膜中の固溶層分析方法

Inventor： 卯之原 美幸 ,  牛田 貴久
Applicant, Patent owner： 日本特殊陶業株式会社
Agent (1)： 足立 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996267163
Publication number (International publication number)：1998111262
Application date： Oct. 08, 1996
Publication date： Apr. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】 多層膜中の固溶層の固溶率を容易にかつ正確に求める。【解決手段】 本願出願人は、TiCN系の固溶体に対してX線光電子分光法(XPS)によるピーク波形10を求め、これを波形分離して、TiCに対応する波形11とTiNに対応する波形12との面積比を算出した。すると、この面積比がTiCN系固溶体の固溶率ときわめて良好な対応関係を有することを発見した。そこで、粉末状の固溶体に対してX線回折法にて測定した固溶率と、その固溶体のXPSによる上記面積比との対応関係から検量線を作成しておき、多層膜中の固溶層からXPSによるピーク波形を測定し、そのピーク波形の上記面積比と上記検量線とに基づいてその固溶層の固溶率を求める。

Claim (excerpt)：

粉末状の固溶体からX線回折法によって該固溶体の固溶率を測定すると共に、上記粉末状の固溶体からX線光電子分光法によるピーク波形を測定し、上記固溶率と上記ピーク波形との対応関係から検量線を作成し、多層膜中の上記固溶体からなる固溶層からX線光電子分光法によるピーク波形を測定し、該ピーク波形から上記検量線に基づいて上記多層膜中の固溶層の固溶率を求めることを特徴とする多層膜中の固溶層分析方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 多層薄膜の非破壊定量分析方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-009927   Applicant：株式会社日立製作所
• ハロゲン化銀乳剤
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-016429   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• XPS定量分析法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-245498   Applicant：住友金属工業株式会社