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J-GLOBAL ID:200903054154394050

圧力センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 玉村 静世
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000323951
Publication number (International publication number):2002131147
Application date: Oct. 24, 2000
Publication date: May. 09, 2002
Summary:
【要約】【課題】 外乱による圧力変化の収束時間が短く安定した圧力計測が可能な圧力センサを提供する。【解決手段】 圧力センサ(1)は、先端が閉じられたパイプチューブ(5)を利用してその圧力変化を双指向性エレクトレットコンデンサマイクロホン(13)で検出し、圧力センサの内部で前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの正面側と背面側とをリーク通路(15)でリークさせる構造を有する。パイプチューブを受圧部として利用することにより、外乱による圧力変化の収束時間が短く、圧力変化を安定して計測することが可能である。前記リーク通路により、マイクロホンの振動板の正面が臨む空間を大気圧へ連通させるようなエアー通入孔を形成せずにマイクロホンの飽和を防止することができる。
Claim (excerpt):
受圧部と前記受圧部に結合された感圧素子とを有し、前記受圧部は先端部が閉じられた可撓性のパイプチューブから成り、前記感圧素子は、前記パイプチューブの基端部に結合されその中空部分に内部が連通する素子ケーシングと、前記素子ケーシングに内蔵されたエレクトレットコンデンサマイクロホンとを有し、前記素子ケーシングの内部において前記エレクトレットコンデンサマイクロホンの正面側と背面側とをリークさせるリーク通路が形成されて成るものであることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3):
G01L 1/02 ,  A61B 5/0245 ,  G01L 9/00
FI (3):
G01L 1/02 ,  G01L 9/00 Z ,  A61B 5/02 321 C
F-Term (12):
2F055AA05 ,  2F055CC02 ,  2F055DD11 ,  2F055EE25 ,  2F055FF16 ,  2F055GG25 ,  4C017AA02 ,  4C017AA14 ,  4C017AB10 ,  4C017AC30 ,  4C017EE01 ,  4C017FF05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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