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J-GLOBAL ID：200903054163438087

表面に凹凸を有する石英ガラスおよびその製造方法

Inventor： 稲木 恭一 ,  瀬川 徹
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997282757
Publication number (International publication number)：1999106225
Application date： Sep. 30, 1997
Publication date： Apr. 20, 1999
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】表面に球状または楕円球状を有し、マイクロクラックの発生がなく、該マイクロクラックに起因するパーティクルや不純物元素による汚染がなく、しかも二酸化珪素などの酸化膜との密着性に優れ、洗浄が容易な石英ガラスおよびその製造方法を提供する。【解決手段】表面に凹凸を有する石英ガラスであって、前記凹凸が直径10μm以下の球状または楕円球状であることを特徴とする表面に凹凸を有する石英ガラスおよび石英ガラス表面に100μm以下の薄膜を形成したのち、HF溶液またはフッ素を含有する雰囲気などで処理する前記石英ガラスの製造方法。

Claim (excerpt)：

表面に凹凸を有する石英ガラスであって、前記凹凸が直径10μm以下の球状または楕円球状であることを特徴とする表面に凹凸を有する石英ガラス。

IPC (2)：

C03B 20/00 ,  C03C 15/00

FI (2)：

C03B 20/00 ,  C03C 15/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-265513
  
• 特開平4-275950
  
• 特開昭63-307144
  
• 特開平4-310542