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J-GLOBAL ID：200903054167882070

加速度センサ

Inventor： 森 雅友 ,  小林 忠
Applicant, Patent owner： 曙ブレーキ工業株式会社 ,  株式会社曙ブレーキ中央技術研究所
Agent (1)： 長瀬 成城
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994297528
Publication number (International publication number)：1996160070
Application date： Nov. 30, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：

【要約】【目的】一つのチップ内に片持梁式加速度センサを複数個形成し、これによって、温度特性が良い上に、1チップで2次元あるいは3次元方向の加速度を検出できる加速度センサを提案する。【構成】固定部3と、加速度によって移動する錘5と、前記固定部と錘とを接続する梁部4と、前記梁部に配置した抵抗素子とよりなる片持梁式加速度センサを、一体の固定部3から錘部5が互いに中心部に向くように十字状に配置した。

Claim (excerpt)：

固定部と、加速度によって移動する錘と、前記固定部と錘とを接続する梁部と、前記梁部に配置した抵抗素子とよりなる片持梁式加速度センサを、一体の固定部から錘部が互いに中心部に向くように十字状に配置したことを特徴とする加速度センサ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-202777
  
• 特開平4-050657
  
• 特開平4-130276
  
• 加速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-144474   Applicant：日本電装株式会社