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J-GLOBAL ID：200903054183512046

マイクロ波プラズマ・システム用の液体冷却マイクロ波プラズマ・アプリケータおよび液体冷却誘電体窓

Inventor： ウィリアム エム.ホルバー ,  ドナルド ケー.スミス ,  マシュー エム.ビーセン ,  マシュー ピー.フィッツナー ,  エリック ジェー.ジョージリス
Applicant, Patent owner： アプライド・サイエンス・アンド・テクノロジー・インコーポレイテッド
Agent (1)： 藤野 清也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995262200
Publication number (International publication number)：1996222397
Application date： Sep. 14, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 マイクロ波吸収液体を利用したマイクロ波プラズマ・システム用の液体冷却プラズマ・アプリケータおよび液体冷却誘電体窓の提供。【解決手段】 アプリケータは、マイクロ波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管54、およびチャネル68および媒体を画定する管を覆っている冷却部材60を備えている。チャネル68は、部材の内表面に沿って形成され、マイクロ波吸収冷却液を管の外表面上に運ぶために管の外表面を覆い、チャネル68に隣接した媒体により、電界が管に入り、液体がチャネルを流れている間、管内にプラズマを持続させることが可能になる。窓は、誘電体窓、およびチャネルおよびチャネルに隣接した媒体を画定する窓の外表面に接触した冷却部材を含んでいる。

Claim (excerpt)：

マイクロ波および無線波エネルギーに対してほぼ透過性の放電管と、(i) 冷却部材の内表面に沿うように形成され、管の外表面を覆っている、マイクロ波または無線波吸収冷却液を管の外表面上に運ぶためのチャネル、および(ii) 電界が管に入り、液体がチャネルを流れている間、管内のプラズマを持続させることを可能にするチャネルに隣接した媒体を画定する、管を覆っている冷却部材とを備えることを特徴とする、液体冷却プラズマ・アプリケータ。

IPC (7)：

H05H 1/28 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  H05H 1/46

FI (7)：

H05H 1/28 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 C ,  H05H 1/46 B ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭53-060882
  
• 特開昭53-060882
  
• 特開昭53-060882