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J-GLOBAL ID：200903054205546241

表面欠陥検査方法及び装置

Inventor： 中村 力 ,  横尾 雅一 ,  守屋 進
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Agent (1)： 高矢 諭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991359050
Publication number (International publication number)：1993180781
Application date： Dec. 27, 1991
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 色むら状の欠陥、表面粗度の微小な変化による欠陥、点状あるいは線状の微細な欠陥のいずれについても、精度良く欠陥を検出すること、及び、画像信号強度に傾きが生じた場合に正確に欠陥を検出することが可能になる。【構成】 光源10から鋼板26表面に光を照射し、テレビカメラ12により当該鋼板26表面を撮像して画像信号を伝送する。当該画像信号をA/D変換器でデジタル変換し、デジタル変換された画像信号をメモリ20に記憶すると共に、画像処理部18で所定の画像処理を行う。当該処理部18では、画像信号を平滑化し、平滑化画像信号に一様にオフセット値を加えて閾値を求める。元画像信号と前記閾値との差を求めて、当該差の正の値を2値化する。2値化信号の暗部32Aの面積率αから表面欠陥の有無を判定する。判定結果は出力部24からプリントアウトしたり、モニタ上に表示したりする。

Claim (excerpt)：

被検査物の表面を撮像して得られた画像信号から被検査物の表面欠陥を検出する表面欠陥検査方法において、画像信号を平滑化し、平滑化画像信号に一様にオフセット値を加えて閾値を求め、求められた閾値により、元の画像信号を2値化し、2値化画像信号から前記表面欠陥を検出することを特徴とする表面欠陥検査方法。

IPC (6)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/89 ,  G06F 15/62 400 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/68 320