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J-GLOBAL ID：200903054218647160

放射線感受性レジスト組成物及びその使用

Inventor： ロバート・デイビツド・アレン ,  ウイラード・アール・コンレー・ジユニア ,  ウイリアム・デイーナン・ヒンズバーグ・ザサード ,  パメラ・イー・ジヨーンズ ,  ケビン・エム・ウエルシユ
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 合田 潔 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993260837
Publication number (International publication number)：1994266106
Application date： Oct. 19, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 放射線感受性レジスト組成物及び集積回路の製造におけるその使用方法の提供。【構成】 この組成物は、放射線感受性酸発生剤、水性塩基中に可溶性のバインダー及び酸不安定性の懸垂基を有するアクリレートコポリマーを含む。

Claim (excerpt)：

放射線感受性酸発生剤、水性塩基中に可溶性のバインダー、並びに(1)アクリル酸、メタクリル酸またはこれらの混合物、(2)アルキルメタクリレート、アルキルアクリレートまたはこれらの混合物、及び(3)酸不安定性の懸垂基を有するモノマーの反応生成物を含むコポリマーからなるレジスト組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/30 ,  H05K 3/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 特開平2-096757
  
• 特開平3-289658
  
• 特開昭58-122533
  
• 特開平2-018564
  
• 特開昭58-122533
  
• 特開平2-018564
  
• 特開昭59-045439