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J-GLOBAL ID：200903054228412170

マルチチャンバシステム及びその制御方法

Inventor： 石川 勝彦 ,  斉藤 由雄 ,  奥平 定之
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994021636
Publication number (International publication number)：1995230942
Application date： Feb. 18, 1994
Publication date： Aug. 29, 1995
Summary：

【要約】【目的】 マルチチャンバシステムにあって、外部汚染を防止し、連続処理の行える工程数を増やせるようにする。【構成】 汎用のマルチチャンバ装置を用いてウェハ搬送チャンバ1aを複数のプロセスチャンバ2,3が共用するマルチチャンバ装置1Mを構成し、同様構成のマルチチャンバ装置2M〜6Mを、相互間に接続チャンバ4,6,9,12,15,18を介して処理対象の半導体ウェハが1巡可能なようにループ状に連結する。また、半導体ウェハの搬入・搬出はマルチチャンバ装置1Mに接続されたロードロックチャンバ5を用いて行う。

Claim (excerpt)：

1台のマルチチャンバ装置が搬送チャンバに少なくとも1基のプロセスチャンバを接続した構成にされ、この種のマルチチャンバ装置の複数台を被処理物が1巡可能なようにループ状に連結することを特徴とするマルチチャンバシステム。

IPC (2)：

H01L 21/02 ,  H01L 21/68