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J-GLOBAL ID：200903054234747868

表面疵の検出方法およびその装置

Inventor： 大重 貴彦 ,  的場 有治 ,  風間 彰 ,  河村 努
Applicant, Patent owner： 日本鋼管株式会社
Agent (1)： 佐々木 宗治 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995280250
Publication number (International publication number)：1997127012
Application date： Oct. 27, 1995
Publication date： May. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 検出および判別可能な疵種の数を増大させ、従来の方式では検出できなかった模様状の表面疵を検出する。【解決手段】 (a)表面疵を有する試料に偏光を照射して表面反射光のエリプソパラメータ(Ψ,Δ)特性をあらかじめ求める工程と、(b)検査されるべき試料の被検査面に偏光を照射して表面反射光のエリプソパラメータ(Ψ,Δ)を求める工程と、(c)工程(b)で得られたエリプソパラメータ(Ψ,Δ)と工程(a)でのエリプソパラメータ(Ψ,Δ)特性とを比較する工程と、(d)工程(c)で得られた結果に基づき表面疵の等級付けをする工程とを有する。

Claim (excerpt)：

被検査面に偏光を照射して表面反射光のエリプソパラメ-タ(Ψ、Δ)を求め、あらかじめ求めておいた表面疵からの反射光の振幅比Ψと位相差Δ特性と比較して、等級付けすることを特徴とする表面疵の検出方法。

IPC (3)：

G01N 21/89 ,  G01J 4/00 ,  G01N 21/23

FI (3)：

G01N 21/89 B ,  G01J 4/00 ,  G01N 21/23