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J-GLOBAL ID：200903054237036369

光スイッチ

Inventor： 羽田 聖治
Applicant, Patent owner： 横河電機株式会社
Agent (1)： 小沢 信助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994146178
Publication number (International publication number)：1996015621
Application date： Jun. 28, 1994
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】光路切替え機構部を小型軽量化すると共に静電気力を利用して機構部を駆動することにより、低消費電力化と光路切替え速度の高速化を図ると共に実用上十分な強度を有する光スイッチを実現する。【構成】シリコン基板に凹部が形成され、この凹部の表面に反射鏡および上部電極を有するシリコン製片持ち梁の偏向素子が設けると共に凹部の底面に下部電極が形成され、上部電極および下部電極間に電荷を加えて梁にたわみを生じさせ反射鏡を傾斜させることにより、反射鏡からの出射光の光路を切り替え得るように構成する。

Claim (excerpt)：

シリコン基板に凹部が形成され、前記凹部の表面に反射鏡および上部電極を有するシリコン製片持ち梁の偏向素子が設けられると共に前記凹部の底面に下部電極が形成され、前記上部電極および下部電極間に電荷を加えて前記梁にたわみを生じさせ前記反射鏡を傾斜させることにより、反射鏡からの出射光の光路を切り替え得るように構成したことを特徴とする光スイッチ。