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J-GLOBAL ID：200903054245654772

薄膜発光素子及び発光装置

Inventor： 皆方 誠 ,  門田 道雄
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 中野 雅房
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994079594
Publication number (International publication number)：1995262801
Application date： Mar. 25, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 白色のフォトルミネセンス光を発光する薄膜型の素子を得る。【構成】 RFマグネトロン型ECRスパッタ装置を用い、そのターゲットをpure Zn金属とし、雰囲気ガスをAr+O2ガスとし、230°Cに加熱したR面サファイア基板の表面に71Å/minの成膜速度で980Åの膜厚にZnOエピタキシャル膜を成長させた。ZnOエピタキシャル膜を1.8°Kに冷却した状態で、出力パワー1mWのHe-Cdレーザー光を照射すると、白色のフォトルミネセンス光が観測された。

Claim (excerpt)：

基板上に形成したZnOエピタキシャル膜よりなることを特徴とする薄膜発光素子。

IPC (3)：

F21K 2/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 33/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 酸化物薄膜基板材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-108458   Applicant：株式会社日鉱共石
• 特開平2-037385
  
• 特開昭62-081076