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J-GLOBAL ID：200903054281603211

赤外線検出装置

Inventor： 前田 俊二 ,  小野 眞 ,  窪田 仁志
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992099289
Publication number (International publication number)：1993296825
Application date： Apr. 20, 1992
Publication date： Nov. 12, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】対象を非加熱、非接触の状態で、対象の赤外線画像を検出し、これを観察や位置決めに用いる装置を提供すること。【構成】赤外線検出器を用いた画像検出装置5において、対象を拡大検出する対物レンズ37に温度調節機構48を設け、この拡大レンズはレンズ以外の周囲からの赤外線入射を防ぐべく、高NAを有し、パターン材質の違いを顕在化して画像を検出する。さらに、検出した赤外線画像を用いて、記憶した基準画像とマッチングすることにより、位置検出、或いは位置決めする。【効果】対象の場所による放射率の違いを顕在化でき、この画像を用いることにより、パターンの位置検出や位置決めを行うことが可能になる。

Claim (excerpt)：

赤外線検出器を用いた画像検出装置において、対象を拡大検出する光学系に温度調節機構を設けたことを特徴とする赤外線検出装置。

IPC (7)：

G01J 1/02 ,  G01B 11/00 ,  G01J 1/04 ,  G01J 5/48 ,  G01N 25/72 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/70 350