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J-GLOBAL ID：200903054303042910

単結晶ダイヤモンド合成用基板

Inventor： 橘 武史 ,  横田 嘉宏
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 藤巻 正憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998060222
Publication number (International publication number)：1999255599
Application date： Mar. 11, 1998
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 大面積の単結晶ダイヤモンド膜を低コストで合成することを可能とする単結晶ダイヤモンド合成用基板を提供する。【解決手段】 単結晶ダイヤモンド合成用基板は、表面が(111)面の単結晶シリコン基体4と、この基体4上に形成され表面が(0001)面の単結晶サファイア層5と、この単結晶サファイア層5上に形成され表面が(111)面の単結晶白金層6とを有する。基体と単結晶サファイア層との間に、表面が立方晶(111)面又は六方晶(0001)面である単結晶炭化珪素層を形成してもよい。

Claim (excerpt)：

単結晶シリコン基体と、この基体上に形成された単結晶サファイア層と、前記単結晶サファイア層上に形成された単結晶白金層とを有することを特徴とする単結晶ダイヤモンド合成用基板。