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J-GLOBAL ID：200903054310594774

感度安定化ポジ作用性フォトレジスト組成物

Inventor： スティーブン ニューマン ,  ロバート ジョン ホウリ
Applicant, Patent owner： ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー
Agent (1)： 青木 朗 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992112062
Publication number (International publication number)：1993181263
Application date： Mar. 19, 1992
Publication date： Jul. 23, 1993
Summary：

【要約】【構成】 1または2以上の層の中に、(i)樹脂結合剤、(ii)光酸発生剤、および(iii)酸切断性化合物、を含んでなるポジ作用性フォトレジストであって、フォトレジスト媒体はさらに、感度安定剤として、一般式(I):【化1】(式中、Rは水素原子および10個までの炭素原子を有する置換されていてもよいアルキル基から成る群より選択される)の核を有する1種または2種以上の化合物を含んでなることを特徴とする、ポジ作用性フォトレジスト。

Claim (excerpt)：

1または2以上の層の中に、(i)樹脂結合剤、(ii)光酸発生剤、および(iii)酸切断性化合物、を含んでなるポジ作用性フォトレジストであって、フォトレジスト媒体は、さらに、感度安定剤として、一般式(I):【化1】(式中、Rは水素原子および10個までの炭素原子を有する置換されていてもよいアルキル基から成る群より選択される)の核を有する1種または2種以上の化合物を含んでなることを特徴とする、ポジ作用性フォトレジスト。

IPC (6)：

G03F 7/004 502 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027