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J-GLOBAL ID:200903054317165674

位置検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997236182
Publication number (International publication number):1999083430
Application date: Sep. 01, 1997
Publication date: Mar. 26, 1999
Summary:
【要約】【課題】 簡単な構成により、高分解能、高精度で応答性の高い位置検出装置を提供する。【解決手段】 アクチュエータ140により可動体120を動かし、差動型受光素子130の和出力(R+L)が有為の大きさになる点光源像が差動型受光素子130に当たる位置を探す。この際、可動体120のエンコード部150を撮像式絶対位置検出装置160で検出し、位置情報出力Aを得る。また、点光源像が差動型受光素子130に当たると、各受光素子130R、130Lの差出カ(v=R-L)により、点光源像の中心点位置を差動型受光素子130の中心線からの距離x=v/kを得る。kは位置変換係数である。そして、A+x=A+v/kより、点光源像の中心点の絶対位置を求める。
Claim (excerpt):
位置検出対象物に取り付けた点光源と、前記点光源の光を集め結像させるレンズ系と、前記レンズ系の焦光面に配置される可動体と、前記可動体に設けられ、点光源からの光の焦光位置を検出する差動型受光素子と、前記可動体を前記焦光面内で直線移動させることにより、前記差動型受光素子の出力信号に基づいて、前記差動型受光素子に前記点光源の像が当たる状態に制御するアクチュエータと、前記可動体に設けたエンコード部と、前記エンコード部を検出することにより、前記可動体の位置を検出する絶対位置検出装置とを有して構成され、前記絶対位置検出装置の検出情報と前記差動型受光素子の差出力情報とに基づいて、前記点光源の位置を検出する一次元位置検出装置を具備した、ことを特徴とする位置検出装置。
IPC (2):
G01B 11/00 ,  G01D 5/36
FI (4):
G01B 11/00 C ,  G01D 5/36 B ,  G01D 5/36 K ,  G01D 5/36 G
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特公昭50-020854
  • 特表平7-504752
  • 特開昭62-222130
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