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J-GLOBAL ID:200903054341000783

電極、電子放出素子及びそれを用いた装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 福森 久夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001157826
Publication number (International publication number):2002352694
Application date: May. 25, 2001
Publication date: Dec. 06, 2002
Summary:
【要約】【課題】 従来のスピント型冷陰極やカーボンナノチューブやカーボンナノファイバの電子放出特性の更なる改善を図り、低電圧で高輝度の電子放出が可能な高性能電子放出装置を作製し、フラットパネルディスプレー、撮像装置、電子ビーム装置、マイクロ波進行波管のキーデバイスとして提供する。【解決手段】 スピント型冷陰極やカーボンナノチューブやカーボンナノファイバおよび凹凸を有する金属や半導体基板に厚さ50nm以下の電子親和力4.0eV以下の半導体膜を設けて電子放出装置を作製する。前記半導体薄膜として窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウムホウ素、窒化アルミニウムガリウム、窒化ホウ素ガリウムなどのIII族原子と窒素原子の化合物、窒化ホウ素炭素、ダイヤモンドのいずれを用いる。
Claim (excerpt):
厚さ50nm以下の電子親和力4.0eV以下の膜を表面に有することを特徴とする電極。
IPC (5):
H01J 1/304 ,  H01J 1/30 ,  H01J 11/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12
FI (5):
H01J 11/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C ,  H01J 1/30 F ,  H01J 1/30 D
F-Term (9):
5C031DD17 ,  5C031DD20 ,  5C036EE02 ,  5C036EE19 ,  5C036EG12 ,  5C040FA01 ,  5C040FA02 ,  5C040GF00 ,  5C040MA03

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