Pat

J-GLOBAL ID：200903054372665376

表面検査装置及び微小凹凸欠陥の無い鋼板の製造方法

Inventor： 大重 貴彦 ,  上杉 満昭 ,  鶴丸 英幸
Applicant, Patent owner： 日本鋼管株式会社
Agent (1)： 細江 利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001226315
Publication number (International publication number)：2002139447
Application date： Jul. 26, 2001
Publication date： May. 17, 2002
Summary：

【要約】【課題】 表面粗さの粗い被検査対象物においても、凹凸が数μm程度の微小凹凸性疵を確実に検出できる装置及び方法を提供する。【解決手段】 検出ヘッド3中には、光源4が設けられ、鋼板1の表面に、可視域の波長の集束光を入射角θが90度近くの大きな角度で照射している。 鋼板1の表面で反射された光は、半透明のスクリーン6上に像を結ぶ。その像をスクリーン6の背面から2次元カメラ7で撮像し、信号処理装置8で画像処理を行うことにより凹凸性疵を検出する。光源からの光の波長をλ、鋼板1への照射光の入射角をθとすると、cosθ/λを所定値以下にすることにより、入射角を鋼板表面からの反射光は鏡面反射光となるが、凹凸性疵があると、その部分が黒くスクリーン6に写るので、疵の存在を検出することができる。

Claim (excerpt)：

被検査体の表面に所定の入射角で光束を照射する光源と、前記被検査体の表面から反射された光を検出する検出系とを有し、微小凹凸性疵を検出する表面検査装置において、前記光源の波長λに対する前記入射角θの余弦の値の比cosθ/λが、前記被検体の表面粗さに対応して決定される所定の値以下となるように、前記波長と前記入射角の関係が選定されており、被検査体の表面に入射する光束が集束光とされていることを特徴とする表面検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/892 ,  B21C 51/00 ,  G01B 11/30

FI (3)：

G01N 21/892 B ,  B21C 51/00 P ,  G01B 11/30 A

F-Term (27)：

2F065AA49 ,  2F065BB13 ,  2F065CC06 ,  2F065DD04 ,  2F065GG05 ,  2F065GG08 ,  2F065GG16 ,  2F065GG21 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL03 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065QQ04 ,  2F065SS14 ,  2G051AA37 ,  2G051AB07 ,  2G051BA04 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA20 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭52-127259
  
• 特公昭51-014039
  
• 表面欠陥検査方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-246590   Applicant：川崎製鉄株式会社