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J-GLOBAL ID：200903054373011736
静電容量型加速度センサ及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994325717
Publication number (International publication number)：1995209330
Application date： Dec. 27, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】 簡単に接触を行うことができる単結晶材料からなる静電容量型加速度センサを提供する。【構成】 該静電容量型加速度センサは、震動質量体(10)から離れた末端部分(11a)で基板(12)に固定された懸吊ウエブ(11)と第2のフィンガ(13)が分離ストリップ(17)により単結晶材料からなるその他の残りの層(16)から電気的に分離されており、かつ不動態層(22)が分離ストリップ(17)を越えて少なくとも部分的に残りの層(16)上に拡がっており、かつ不動態層(22)上に配置され、コンデンサ装置のためのリード線として働く導体路(18)が分離ストリップ(17)を越えてコンデンサ装置の端子まで延びておりかつそこで接触している。
Claim (excerpt)：
基板上に配置された単結晶層からエッチングにより形成された構造を有し、該構造が、懸吊ウエブを介してのみ基板と連結され、加速度が発生すると長手方向の運動を実施する震動質量体と、該震動質量体からその長手方向に対して直角方向に延びる平行の板状の第1のフィンガと、該第1のフィンガに対して平行な、基板に固定された板状の第2のフィンガとからなり、前記第1のフィンガと第2のフィンガがコンデンサ装置を形成する静電容量型加速度センサにおいて、震動質量体(10)から離れた末端部分(11a)で基板(12)に固定された懸吊ウエブ(11)と第2のフィンガ(14)が分離ストリップ(17)により単結晶材料からなるその他の残りの層(16)から電気的に分離されており、かつ不動態層(22)が分離ストリップ(17)を越えて少なくとも部分的に残りの層(16)上に拡がっており、かつ不動態層(22)上に配置され、コンデンサ装置のためのリード線として働く導体路(18)が分離ストリップ(17)を越えてコンデンサ装置の端子まで延びておりかつそこで接触していることを特徴とする静電容量型加速度センサ。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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