感放射線性組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998079489
Publication number (International publication number)：1999282164
Application date： Mar. 26, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】感度、解像力、パターン形状の良好な感放射線性組成物を提供する。【解決手段】塗膜形成性樹脂(a)及び光酸発生剤(b)を含有する感放射線性組成物に於て、樹脂(a)がフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂又は該アルカリ可溶性樹脂のフェノール性水酸基の一部が酸分解性保護基で保護された樹脂であり、かつフェノール性水酸基の一部が架橋して、下記一般式(1)又は(2)の構造を形成している樹脂である感放射線性組成物。【化1】(式中、Xは2価の連結基、Yは3価の連結基を示す)

Claim (excerpt)：

塗膜形成性樹脂(a)及び光酸発生剤(b)を含有する感放射線性組成物に於て、樹脂(a)がフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂又は該アルカリ可溶性樹脂のフェノール性水酸基の一部が酸分解性保護基で保護された樹脂であり、かつフェノール性水酸基の一部が架橋して、下記一般式(1)又は(2)の構造を形成している樹脂であることを特徴とする感放射線性組成物。【化1】(式中、Xは2価の連結基、Yは3価の連結基を示す)

IPC (3)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

ポジ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-272803 Applicant：富士写真フイルム株式会社

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