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J-GLOBAL ID：200903054394505402

温調装置及び走査型露光装置

Inventor： 神谷 三郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995267824
Publication number (International publication number)：1997092613
Application date： Sep. 21, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】 パーティクルの付着問題が殆ど生じることなく、周辺の空気の温度変化や揺らぎを防止しつつ、基板の温度制御を効果的に行なう。【解決手段】 基板Rに対向配置され,配管24内を流れる冷媒(又は熱媒)により温度制御可能な輻射プレート23と、輻射プレート23に真空層22を介して対向配置された赤外線透過窓21と、輻射プレート23と窓21とを一体的に支持するとともに当該両者23、21間及び真空層22を断熱する断熱支持体25とを有する。これによれば、輻射プレート23との間の輻射伝熱により基板Rの温度が調整されるので、パーティクルの付着問題が殆ど生じることなく、周辺の空気の温度変化や揺らぎを防止しつつ、完全なる非接触にて基板Rの温度制御を効果的に行なうことができる。

Claim (excerpt)：

基板の温度を調整する温調装置であって、前記基板に対向配置可能で温度制御可能な輻射プレートと;前記輻射プレートに所定の真空層を介して対向配置された赤外線透過窓と;前記輻射プレートと前記窓とを一体的に支持するとともに当該両者間及び前記真空層を断熱する断熱支持体とを有する温調装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 516 E ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 518