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J-GLOBAL ID：200903054452249500

感放射線性樹脂組成物

Inventor： 小林 英一 ,  村田 誠 ,  勇元 喜次 ,  三浦 孝夫
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992134431
Publication number (International publication number)：1993307262
Application date： Apr. 28, 1992
Publication date： Nov. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 エキシマレーザー等の遠紫外線を含む各種の放射線により、高感度、且つ高解像度で良好なパターンプロファイルに超微細加工することができる新規感放射線性組成物を提供する。【構成】 感放射線性樹脂組成物は、(A)ポリ(ヒドロキシスチレン)系重合体のフェノール性水酸基の水素原子の一部をアリールメチル基で置換した構造を有する重合体、並びに(B)放射線の照射により酸を発生する化合物を主成分とする。

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(1)で表される少なくとも1種の繰返し単位と下記一般式(2)で表される少なくとも1種の繰返し単位とを有し、一般式(1)で表される繰返し単位の数をx、一般式(2)で表される繰返し単位の数をyとすると、xおよびyが0.05≦x/(x+y)<0.9の関係を満たす重合体またはその水素添加物、並びに(B)放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R<SP>1</SP>は水素原子またはアルキル基を示し、4個のR<SP>2</SP>は互いに同一でも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基を示し、R<SP>3</SP>〜 R<SP>5</SP>は互いに同一でも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アリール基またはアラルキル基を示し、R<SP>3</SP>〜R<SP>5 </SP>のうちの少なくとも1つはアリール基である。〕【化2】〔一般式(2)において、R<SP>6</SP>は水素原子またはアルキル基を示し、4個のR<SP>7</SP>は互いに同一でも異なってもよく、一般式(2)のR<SP>2</SP>について挙げた置換基を示す。〕

IPC (4)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027