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J-GLOBAL ID：200903054471842662

放電検出機

Inventor： 佐藤 敬
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 高橋 光男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994140756
Publication number (International publication number)：1995326490
Application date： May. 31, 1994
Publication date： Dec. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 プラズマの発光又は高周波入力の反射波の検知等の従来の手段とは異なる新規な手段を利用した信頼性の高い放電検出機を提供することである。【構成】 本放電検出機10は、スパッタリング装置等に放電用高周波電力を供給する高周波電源ラインから高周波信号を収集するアンテナ12と、収集した高周波信号から高調波を検出する高周波検出部14と、抽出された高調波を整流する整流部16と、整流部16で整流されて得た直流信号の電圧を測定する電圧計18とを備えている。本放電検出機は、放電時の高周波電力の入力波形が高調波により歪んでいることを利用して、その高調波成分を抽出し、検出精度を向上させるために整流して直流信号に変え、その直流信号の電圧を電圧計により計測する。直流信号の電圧計測値が所定値より高い場合には放電が開始され、かつ持続していることを示し、所定値より低い場合には放電が開始されていないことを示す。

Claim (excerpt)：

グロー放電を発生させる装置に放電用高周波電力を供給する高周波電源ラインから高周波信号を収集する収集部と、収集した高周波信号から高調波を検出する第1検出部と、高調波を整流する整流部と、整流して得た直流信号を検出する第2検出部とを備えたことを特徴とする放電検出機。