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J-GLOBAL ID：200903054497555556

平面度測定方法および装置

Inventor： 神▲崎▼ 豊樹 ,  大槻 久仁夫 ,  池田 顕雄 ,  廣嶋 幸夫
Applicant, Patent owner： 株式会社堀場製作所
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999034966
Publication number (International publication number)：2000234919
Application date： Feb. 12, 1999
Publication date： Aug. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】 透明または半透明な平板の平面度を試料である平板の裏面反射の影響や重力の影響を可及的に少なくし、精度よく測定することができる平面度測定方法および装置を提供すること。【解決手段】 平面度測定光学系5を用いて透明または半透明の平板1の平面度を測定する方法において、前記平板1を、その測定対象面1aがこの平板1の屈折率と似通った屈折率を有する液体4内に、前記測定対象面1aが前記液面4aから水平な状態で突出するように保持し、その状態で測定対象面1aに測定光6を照射するようにした。

Claim (excerpt)：

平面度測定光学系を用いて透明または半透明の平板の平面度を測定する方法において、前記平板を、その測定対象面がこの平板の屈折率と似通った屈折率を有する液体内に、前記測定対象面が前記液面から水平な状態で突出するように保持し、その状態で測定対象面に測定光を照射するようにしたことを特徴とする平面度測定方法。

IPC (2)：

G01B 11/30 101 ,  G01B 9/02

FI (2)：

G01B 11/30 101 A ,  G01B 9/02

F-Term (36)：

2F064AA00 ,  2F064BB00 ,  2F064CC09 ,  2F064CC10 ,  2F064DD01 ,  2F064DD08 ,  2F064DD10 ,  2F064EE05 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG20 ,  2F064GG22 ,  2F064GG47 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064KK04 ,  2F065AA47 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065BB23 ,  2F065CC00 ,  2F065DD11 ,  2F065DD12 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL09 ,  2F065LL12 ,  2F065NN20 ,  2F065PP11