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J-GLOBAL ID：200903054516881095

X線発生装置

Inventor： 西村 靖彦 ,  坂田 篤 ,  間瀬 晃 ,  松原 享治 ,  東 博純
Applicant, Patent owner： 株式会社トヨタマックス ,  トヨタ自動車株式会社 ,  株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 大川 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999211817
Publication number (International publication number)：2001035689
Application date： Jul. 27, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】飛散粒子の遮蔽とX線の波長選択を一つの手段で行う。【解決手段】ターゲット3とX線光学系6の間に、ターゲット3から所定距離離れた位置に所定幅の開孔をもち開孔をX線が通過する空間アパーチャー5を配置した。空間アパーチャー5の開孔を所定幅としておくことにより、X線は開孔を通過する際に波長選択されるため、狭帯域スペクトル化されたX線がX線光学系5に入射する。一方、空間アパーチャーの存在により飛散粒子を遮蔽することができるので、X線光学系5への飛散粒子の侵入を抑制することができる。

Claim (excerpt)：

真空容器と、該真空容器内に配置されたターゲットと、該ターゲットにエネルギービームを照射するビーム照射手段と、該真空容器に連通して設けられ該ターゲットから発生したX線を導くX線光学系と、よりなるX線発生装置において、該ターゲットと該X線光学系の間には、該ターゲットから所定距離離れた位置に所定幅の開孔をもち該開孔内をX線が通過する空間アパーチャーが配置されていることを特徴とするX線発生装置。

IPC (2)：

H05G 2/00 ,  H05G 1/02

FI (2)：

H05G 1/00 K ,  H05G 1/02 S

F-Term (5)：

4C092AA06 ,  4C092AB23 ,  4C092BC18 ,  4C092BD13 ,  4C092BF10