Pat
J-GLOBAL ID:200903054525843260
機能性微粒子の製造方法及びその装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994068817
Publication number (International publication number):1995278777
Application date: Apr. 06, 1994
Publication date: Oct. 24, 1995
Summary:
【要約】【目的】 機能性微粒子の製造方法及びその装置に係るもので、酸化物超電導微粒子、その他の微細な微粒子の表面の改質を均一、確実に行ない、かつ、広範囲の技術分野に対して適用可能な機能性微粒子を提供する。【構成】 改質物質を超音速のプラズマ流として噴出させる工程と、該プラズマ流雰囲気中に被改質微粒子を送り込んで原子状の改質物質を被改質微粒子の表面に気相蒸着させて被改質微粒子に改質表面を形成する工程とを有する構成の採用により、改質物質を原子状にして被改質微粒子の表面に気相蒸着し、表面の改質を行なうとともに、第3物質の被覆性を高める。
Claim (excerpt):
改質物質を超音速のプラズマ流として噴出させる工程と、該プラズマ流雰囲気中に被改質微粒子を送り込んで原子状の改質物質を被改質微粒子の表面に気相蒸着させて被改質微粒子に改質表面を形成する工程とを有する機能性微粒子の製造方法。
IPC (9):
C23C 4/00
, B01J 19/08
, B22F 1/02
, C01G 1/00
, C01G 3/00 ZAA
, C01G 49/06
, C23C 4/12
, C23C 16/48
, H01L 39/24 ZAA
Patent cited by the Patent:
Return to Previous Page