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J-GLOBAL ID：200903054530351007

偏向可能デバイスおよびその製造方法

Inventor： マイクル エイ.ミグナーディ ,  ジェフリー ビー.サンプセル ,  マーク ボイセル
Applicant, Patent owner： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992106876
Publication number (International publication number)：1994148540
Application date： Apr. 24, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】 シャッタを上昇または降下させる機械的マイクロスイッチを含むデバイスを提供する。【構成】 このデバイスは、電極38a、38bと、該電極と下面に垂直シャッタ40を取付けられた個々に偏向可能である素子32との間のギャップと、を有する機械的マイクロスイッチを含む。前記電極がアドレスされた時、前記偏向可能素子32の運動は前記シャッタを上昇または降下せしめる。このようなデバイスは、スイッチングに使用されうる。導波路におけるそのような使用の1実施例が、製造方法と共に開示されている。

Claim (excerpt)：

次の各項記載のものを含む、偏向可能デバイス。(a)基板。(b)該基板上に形成された電極。(c)該電極の次に該基板上に形成された少なくとも1つの支持構造。(d)前記電極上の該支持構造に取付けられた可動金属素子。(e)前記電極と該金属素子との間のエアギャップ。(f)該金属素子に取付けられた垂直構造。

IPC (2)：

G02B 26/08 ,  G02B 26/10 104

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平2-131210