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J-GLOBAL ID：200903054537938860
プラズマ発生方法,プラズマ発生装置およびプラズマ発生素子
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
落合 健 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996217618
Publication number (International publication number)：1998064698
Application date： Aug. 19, 1996
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：
【要約】【課題】 簡単な手段により容易にプラズマを発生する。【解決手段】 単分極処理した強誘電体2およびその強誘電体2の表面5,6に相対向するように密着させた一対の電極3,4を有し、且つ強誘電体2は通電方向bと交差する分極軸aを持つプラズマ発生素子1を用い,両電極3,4間に交流電圧を印加して強誘電体2に,その通電方向bと交差する方向cの共振波を生起させることにより,両電極3,4の強誘電体2との境界にプラズマを発生させる。
Claim (excerpt)：
単分極処理した強誘電体(2)およびその強誘電体(2)の表面(5,6)に相対向するように密着させた一対の電極(3,4)を有し,且つ前記強誘電体(2)は通電方向(b)と交差する分極軸(a)を持つプラズマ発生素子(1)を用い,前記両電極(3,4)間に交流電圧を印加して前記強誘電体(2)に,通電方向(b)と交差する方向(c,d)の共振波を生起させることにより,前記両電極(3,4)の前記強誘電体(2)との境界にプラズマ(p)を発生させることを特徴とするプラズマ発生方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H05H 1/46 M
, B01J 19/08 E
