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J-GLOBAL ID：200903054541807762

透明物質を検査するための方法と装置

Inventor： ジユタール,イアン ,  サクル,ジヤン-ジヤツク
Applicant, Patent owner： トムソン-セエスエフ
Agent (1)： 川口 義雄 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1994509708
Publication number (International publication number)：1996502361
Application date： Oct. 13, 1993
Publication date： Mar. 12, 1996
Summary：

【要約】検査しようとする透明物質(2)の厚さ内に含まれる欠陥(5)を検出し位置決定するための、本発明による検査方法は、透明性によって物質(2)を透過して見えるようにカメラ(4)から見て物質(2)の背後に置かれたカメラ(4)の視野をカバーし、かつコントラスト基準の役目をする明るい背景(7)を均一に照明することと、物質(2)の内部に含まれた欠陥(5)と物質(2)の表面に付着した寄生要素(11)とを区別するために、物質(2)の表面を側面から照明することと、物質(2)の表面に対して垂直に置かれたカメラ(4)で透かして見ることと、一連のコントラストを付けた画像が物質(2)の厚さを再現していることと、物質(2)の厚さ内に含まれる欠陥(5)を検出して位置を決定するために、物質の厚さのなかで見られる物質(2)を表す連続画面によって得られた情報を処理することとから成る。

Claim (excerpt)：

少なくとも1つの光源を用いた照明と少なくとも1つのカメラ(4)とによって物質(2)の厚さを観測することによって、透明物質(2)を検査する方法であって、透明性によって物質(2)が透過して見えるようにカメラ(4)から見て物質(2)の背後に置かれたカメラ(4)の視野をカバーし、かつコントラスト基準の役目をする明るい背景(7)を均一に照明することと、物質(2)の内部に含まれた欠陥と物質の表面に付着した寄生要素(11)とを区別するために、物質(2)の表面を側面から照明することと、物質(2)の表面に対して垂直に置かれたカメラで透かして見ることと、一連のコントラストを付けた画像が物質(2)の厚さを再現していることと、物質(2)の厚さ内に含まれる欠陥(5)を検出して位置を決定するために、物質の厚さのなかで見られる物質(2)を表す連続画面によって得られた情報を処理することとを含むことを特徴とする透明物質の検査方法。